敏芯股份获得发明专利授权：“一种加速度传感器制备方法及加速度传感器”

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种加速度传感器制备方法及加速度传感器”，专利申请号为CN202511493869.9，授权日为2026年2月13日。

专利摘要：本申请涉及微机电技术领域，具体涉及一种加速度传感器制备方法及加速度传感器，方法包括：在衬底表面依次沉积第一牺牲层以及作为固定电极的第一结构层；对第一结构层进行图案化刻蚀，形成保护结构；在第一结构层表面沉积第二牺牲层；对第二牺牲层表面进行刻蚀，形成深度小于第二牺牲层厚度的凹槽；在第二牺牲层表面沉积作为质量块电极的第二结构层；对第二结构层进行图案化刻蚀，形成止挡结构；所述止挡结构与保护结构在衬底上的投影至少部分重叠；释放第一牺牲层以及第二牺牲层。本申请能够在制备电极同时形成保护结构及止挡结构，不仅提高了加工效率，缩短了制备周期，还有效降低了制造成本。

今年以来敏芯股份新获得专利授权3个，较去年同期减少了66.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了3863.03万元，同比减1.52%。

通过天眼查大数据分析，苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目27次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息511条，著作权信息5条；此外企业还拥有行政许可16个。

数据来源：天眼查APP

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